PECVD係統

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    PECVD係統

    PECVD 係統由管式爐,石英真空室、真空係統、供氣係統、射頻電源係統等組成。 PECVD 係統主要應用於金屬薄膜,陶瓷薄膜等,複合薄膜,石墨烯等生長。 PECVD 係統增加功能容易,可擴...[詳細]

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